Variation Of The Electrical Properties Of Manganese Thin Films With Deposition Conditions
| Author | Al Houty, L [لطيفة ابراهبم الحوطي] |
| Available date | 2009-11-25T15:16:04Z |
| Publication Date | 1989 |
| Publication Name | Qatar University Science Bulletin |
| Citation | Qatar University Science Bulletin, 1989, Vol. 9, Pages 29-36. |
| Abstract | The behaviour of the electrical properties of manganese thin films of different thickness (240 - 1500 A) evaporated under different deposition conditions was studied. The effect of the rate of evaporation (1-7 A/s), the residual gas pressure (10'5 - 10'*' Torr) and the type of residual gas (being air or pure argon) was investigated. Low deposition rates and/or high residual gas pressure resulted in higher resistance values. Using argon instead of air as residual gas enhanced the electrical conductivity. |
| Language | en |
| Publisher | Qatar University |
| Subject | Physics الفيزياء |
| Alternative Title | تأثير ظروف التبخير على الخواص الكهربية لأغطية رقيقة من المنجنيز |
| Type | Article |
| Pagination | 29-36 |
| Volume Number | 9 |
| Alternative Abstract | يهدف هذا البحث إلى دراسة تأثير ظروف التبخير على الخواص الكهربية لأغشية رقيقة من معدن المنجنيز ذات سمك يتراوح بين 240 - 1500 أنجستروم . تم تحضير تلك الأغشية بطريقة التبخير تحت ضغوط منخفضة تتراوح قيمتها بين 10-5 - 10-6 مم زئبق حيث كان الوسط المحيط بالعينة عند التحضير إما هواء أو معبأ بغاز الأرجون ( الخامل ) . كما تم ترسيب تلك الأغشية على سطوح زجاجية بمعدلات تبخير مختلفة تتراوح ما بين 1 إلى 7 أنجستروم/ث . ولقد بينت الدراسة أن المقاومة الكهربية لأغشية المنجنيز تقل مع زيادة معدل التبخير ومع تناقص الضغط الذي تم تحضيرها عنده . كما أن التبخير في وسط الأرجون يؤدي إلى انخفاض في قيمة مقاومة الغشاء بالإضافة إلى تحسين خواص الغشاء بصفة عامة . |
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
-
Qatar University Science Journal - [From 1981 TO 2007] [770 items ]