Show simple item record

Author Mousa, Ali M. [علي مطشر موسى]en_US
Author Ismail, Raid A.en_US
Available date 2009-11-25T15:20:43Zen_US
Publication Date 1995en_US
Publication Name Qatar University Science Journal
Citation Qatar University Science Journal, 1995, Vol. 15, No. 2, Pages 301-306.en_US
URI http://hdl.handle.net/10576/9891en_US
Abstract Laser - induced diffusion of various dopant elements into intransic germanium based on the dipping of Ge into dopant solution, have been used to produce doped ge layer using yag pulse laser with 300us duration ( A, = 1.664(1 m), Four point probe measurments of the layer conductance were used to study the effect of the doping controlled parameters mainly laser flunce, dopant solution, and annealing conditions. Doped sample Tann = 200- 500 C for time t mn = 45 subjected to subsequent thermal annealing (at the temperature and to plused leacr annealing (en<5rgy density in a min) pluse E=5.2 - 9.5 J/cm2) in order to establish optimal condition. A monotonic decrease in the sheet rcsostance with increasing energy density for all values of E > 10 J/cm2. The layer conductance of doped layer increased with the values of electric fleid and substrate temperature. Thr degree of electric activation of laser annealed (under opitmal conditions) doped layer was much better than the corresponding parmeters of the layer annealed thermally under any condition in our experiments.en_US
Abstract درست عملية الانتشار المحتث بوسطة ليزر النديميوم ياك النبفي بطول موجي 064 ، 1 مايكرومتر وبزمن نبضه 300 مايكرو ثانية لعناصر مختلفة ضمن الجرمانيوم النقي وذلك بغمر الجرمانيوم في محاليل الشوائب للحصول على طبقة مشابه من الجرمانيوم. استخدمنا طريقة المجسات الاربعة لقياس توصيلية الطبمقة المشابه ولدراسة تأثير المعلمات الاساسية مثل كثاضة الطاة ظ ، محلول الشائبة وظروف التلدين . العينات المشابه اخضت لعمليات تلدين حرارية تقليدية ( 200 - 500 م ولزمن 45 دثيقة) ولعمليمات تلدين بواسطة الليزر النبضي (لكثافات طاقة 2 ر5 - 6 ، 9 جول / سم 2) بهدف الوقوف على أفضل ظروف تلدين . من القياسات تبين لنا حصول تناقض مضطرد في المقاومة الكهربائية (لسطحية بزيادة كثافة طاقة الليزر ولكل القيم الاكبر من 10 جول / سم 2 . كذلك ظهر لنا ان توصيلية الطبقة المشابه تزداد بوجود المجال الكهربائي الخارجي ودرجة حرارة القاعدة . وان درجة الفعالية الكهربائية للشوائب كانتما اتضل عند التلدين بواسطة الليزر (غغط الظروف المثلى) بالمقارنة مع التلدين الحراري التقليدي .ar
Language enen_US
Publisher Qatar Universityen_US
Subject Physicsen_US
Subject الفيزياءar
Title Analysis of dopant diffusion in molten germanium induced by pulsed nd : yag laseren_US
Alternative Title دراسة تحليلية للانتشار المهحتث للشوائب في الجرمانيوم بوساطة ليزر النديميوم - ياجar
Type Articleen_US
Pagination 301-306en_US
Issue Number 2en_US
Volume Number 15en_US


Files in this item

Icon

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record