Variation Of The Electrical Properties Of Manganese Thin Films With Deposition Conditions

Show simple item record

Author Al Houty, L [لطيفة ابراهبم الحوطي] en_US
Available date 2009-11-25T15:16:04Z en_US
Publication Date 1989 en_US
Publication Name Qatar University Science Bulletin
Citation Qatar University Science Bulletin, 1989, Vol. 9, Pages 29-36. en_US
URI http://hdl.handle.net/10576/9811 en_US
Abstract The behaviour of the electrical properties of manganese thin films of different thickness (240 - 1500 A) evaporated under different deposition conditions was studied. The effect of the rate of evaporation (1-7 A/s), the residual gas pressure (10'5 - 10'*' Torr) and the type of residual gas (being air or pure argon) was investigated. Low deposition rates and/or high residual gas pressure resulted in higher resistance values. Using argon instead of air as residual gas enhanced the electrical conductivity. en_US
Language en en_US
Publisher Qatar University en_US
Subject Physics en_US
Subject الفيزياء ar
Title Variation Of The Electrical Properties Of Manganese Thin Films With Deposition Conditions en_US
Alternative Title تأثير ظروف التبخير على الخواص الكهربية لأغطية رقيقة من المنجنيز ar
Type Article en_US
Pagination 29-36 en_US
Volume Number 9 en_US
Alternative Abstract يهدف هذا البحث إلى دراسة تأثير ظروف التبخير على الخواص الكهربية لأغشية رقيقة من معدن المنجنيز ذات سمك يتراوح بين 240 - 1500 أنجستروم . تم تحضير تلك الأغشية بطريقة التبخير تحت ضغوط منخفضة تتراوح قيمتها بين 10-5 - 10-6 مم زئبق حيث كان الوسط المحيط بالعينة عند التحضير إما هواء أو معبأ بغاز الأرجون ( الخامل ) . كما تم ترسيب تلك الأغشية على سطوح زجاجية بمعدلات تبخير مختلفة تتراوح ما بين 1 إلى 7 أنجستروم/ث . ولقد بينت الدراسة أن المقاومة الكهربية لأغشية المنجنيز تقل مع زيادة معدل التبخير ومع تناقص الضغط الذي تم تحضيرها عنده . كما أن التبخير في وسط الأرجون يؤدي إلى انخفاض في قيمة مقاومة الغشاء بالإضافة إلى تحسين خواص الغشاء بصفة عامة .


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record